Process 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다

2020.09.05 00:10

얼룩제거 조회 수:759

안녕하세요

저는 직장인입니다

회사에서 OLED쪽 CVD 장비유지보수 업무를 하고있습니다

그동안 플라즈마 연구실에서 궁금한거 눈팅만 하다가 이번에는 없어서 직접 질문드립니다

보안에 위배될까봐 자세히는 적지 못 합니다 이해 부탁드립니다.

증착 중 부속 장비의 알람 발생으로 증착 중 RF Power 및 가스 Flow가 중단되어 증착이 중단됩니다

Alarm 발생 Glass를 살리기 위해 Glass 제전(전극과 Glass 간격을 벌려줌) 후 추가증착을 진행(추가증착시 전극에 Glass 안착 후)하는데

이 추가증착 진행 Glass에서 흰얼룩(뿌연얼룩/방사형얼룩)이 발생됩니다

이것을 해결 하기 위한 방법이 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76858
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20263
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57197
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68748
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92617
177 플라즈마 충격파 질문 [1] 803
176 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 802
175 Collisional mean free path 문의... [1] 794
174 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 788
173 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 785
172 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 782
171 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 774
170 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 774
169 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 770
168 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 762
167 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 761
» 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 759
165 교수님 질문이 있습니다. [1] 757
164 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 745
163 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 744
162 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 733
161 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 732
160 ICP 후 변색 질문 732
159 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 726
158 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 721
쓰기
태그

Boards

XE Login