Others AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상...

2004.06.21 15:23

관리자 조회 수:19388 추천:244

질문 ::

안녕하십니까?
그간 Q/A를 관심있게 보아왔는데, 하나둘 복구되고 있어 정말 다행입니다.
다름이 아니라 AC 전기장을 이용하여 일반적인 플라즈마를 발생시키고자 할때(저온플라즈마) 발생되는 전압/전류 파형이 어떻게 되는지 궁금해서 문의드립니다.
저희가 간단한 시험을 하다보면 그 위상차가 재현이 안되던데...
만을 DBD 반응기라면, 컨덴서라고 가정하여 전압/전류의 위상차가 90도 날텐데요...
참고로 위의 사항에 대한 reference가 있을까요?
AC 전기장에 대한 플라즈마 전기적 특성에 관한...

그럼 감사드리며 줄입니다.

답변 ::

플라즈마를 발생하기 위하여 인가되는 전압과 플라즈마 내에서 흐르는 전류의 위상차이는 플라즈마의 전도성에 의해서
차이가 나게 됩니다. 이 전도성은 플라즈마도 하나의 유전체로써 생각을 하면 쉽게 이해할 수 있을 것 입니다. 플라즈마의
유전 상수 값은 전자 플라즈마 주파수와 중성 개스 입자와의 충돌 주파수 등의 함수로 나타나게 됩니다. 따라서
서로의 위상차가 발생함은 이들 값에 의한 영향이며 특히 DBD에서는 DBD 장치 자체의 유전 상수가 포함되게 됩니다.
결국 전위와 전류 간의 위상차에 대한 확실한 reference를 얻게 된다는 말은 플라즈마의 특성, 밀도, 온도등에 대한
값을 잘 알고 있다는 말과 같습니다. 저희실험실도 DBD의 V/I 곡선으로 부터 간접적으로 플라즈마의 밀도를
측정하는 실험을 진행하고는 있습니다만, 아쉽게도 아직도 D BD에서 발생되는 streamer의 갯수, 플라즈마 특성등에 대한
연구는 현재 진행주에 있는 것으로 알고 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76852
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20261
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57193
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68747
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92610
177 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 802
176 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 801
175 Collisional mean free path 문의... [1] 794
174 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 786
173 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 785
172 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 780
171 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 774
170 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 771
169 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 770
168 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 761
167 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 761
166 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 759
165 교수님 질문이 있습니다. [1] 755
164 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 744
163 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 743
162 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 733
161 ICP 후 변색 질문 731
160 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 730
159 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 724
158 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 719

Boards


XE Login