안녕하세요

접착력 증가를 위한 플라즈마 처리를 하고 있습니다.

문제는 불소계필러가 들어간 이미드 필름을 에폭시에 붙이려하는데 잘되지 않아서 

표면처리 후 접착력을 증가시켜 보려고합니다.

현재 Ar+H2 로 하고있고 접착력이 증가하긴 하지만 탁월한효과는 못보고있습니다.

혼합가스를 바꾸어보라는 말도있고 소스를 바꿔보라는 말도있던데 

혼합가스 종류나 다른 방법이있을까요 ? 

 

궁금합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103322
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24716
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61526
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73520
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105952
214 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1196
213 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 1192
212 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전] [1] 1191
211 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1185
210 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1184
209 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [DBD와 "industrial plasma engineering"] [1] 1180
208 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1179
207 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1172
206 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 1172
205 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 1171
204 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1171
203 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 1168
202 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1145
201 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 1140
200 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 1130
199 라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수] [1] 1113
198 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 1103
197 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1102
196 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술] [1] 1100
195 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 1099

Boards


XE Login