Etch Polymer Temp Etch
2022.09.12 14:28
안녕하세요
현직에있는 Etch Engineer입니다..
최근 Wordline으로 떨어지는 CMC공정에서의 Punching 이슈로 H/W관점에서 여러가지 Test를 하고있는 상황입니다.
(Punching Point는 300mm Wafer의 최외각보단 안쪽, 약 200~300 mm 사이에서 발생)
모든 Chamber에서 100%는 아니지만 현시점에선 200Hr 후반대 Variation이 있기때문에 그부분을 해소해야하는 상황인데요.
실험Test 결과를 바탕으로, Temp에 의한 Polymer유동 관점으로 메커니즘이 세워지지 않는 부분과
어떤 방향으로 Approach하면 좋을지 조언받기위해 질문 드립니다.
[Punching 개선된 Action] *CCP설비이며 ESC가 Heater Chuck은 아님. Time Etch 사용
1. ESC Embossing 밀도 사양을 변경하여 ESC Temp가 기존대비 1도 상승하여 Reading됨
→ 초기 Punching Variation Issue는 해소
2. ESC Temp에 영향 주는 Chiller Temp Offset -1도 입력시, ESC Temp가 기존대비 1도 상승하여 Reading됨
→ 사용중 Punching 발생으로 해당 Input을 넣었을시, Punchng Issue가 일시적으로 해소되나 몇 매 진행후 다시 경시적으로
Punching 발생
3. 상부 열전도율 높여주는 부품인 Pad(ShowerHead와 GDP사이 장착)를 Punching발생시점에 A급으로 교체
→ Sample 1매가 완벽하게 해소(그 이후 추가진행은 시도 안해봤으나, 2CB에서 2번 모두 재현성있게 확인됨.)
상기 3가지의 실험으로 봤을때,
- Pattern Wafer에 영향 주는 Temp가 기존대비 상승 → Wafer주변 Polymer 감소 → NOP에 유리 (Punching에 불리)
- 상부 열전도율 경시성으로 하향 → A급 교체후 열전도율 상승으로 Temp 기존대비 하향 → Polymer량 상대적으로 상부로 이동하여
하부 Pattern Wafer 근처 Polymer량 감소 → NOP에 유리 (Punching에 불리)
☞모두 Punching에는 취약한 부분으로 수렴이되는데 어떤 개념을 놓쳤는지 그리고 이후 실험방향을 어떻게 잡아야하는
지도 도움 부탁드립니다..
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76791 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20229 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57178 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68723 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92448 |
151 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 714 |
150 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 712 |
149 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 709 |
148 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
147 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 707 |
146 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 698 |
145 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 695 |
144 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 693 |
143 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 691 |
142 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 690 |
141 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 680 |
140 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 673 |
139 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 670 |
» | Polymer Temp Etch [1] | 667 |
137 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 657 |
136 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 651 |
135 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 636 |
134 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 636 |
133 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 628 |
132 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 620 |