ATM Plasma Silent Discharge
2004.06.19 16:11
Silent Discharge는 일반적으로 Dielectric Barrier Discharge(DBD)라고 불리웁니다.
그런데 왜 silent discharge라 하는지 정확히는 모르지만, 그 이름으로부터 유추할수 있겠지요. 일반적인 대기압 방전으로 arc 방전이 오래 전부터 쓰였는데 이 방전은 소음을 동반합니다. 하지만 dielectric barrier 방전은 조용하지요. 그래서 silent 방전이 아닌가 합니다.
Silent 방전에 관한 좋은 논문으로는 다음을 추천합니다.
U. Kogelschatz, B. Eliasson and W. Egli, J. Phys. IV France, vol 7, C4-47 (1997)
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76750 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57170 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92309 |
| 150 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
| 149 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 708 |
| 148 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 707 |
| 147 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 705 |
| 146 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 704 |
| 145 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 696 |
| 144 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 694 |
| 143 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 690 |
| 142 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 687 |
| 141 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 684 |
| 140 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
| 139 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 669 |
| 138 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 667 |
| 137 | Polymer Temp Etch [1] | 665 |
| 136 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 657 |
| 135 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 640 |
| 134 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
[1]  | 636 |
| 133 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 634 |
| 132 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 626 |
| 131 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 618 |