Others SCCM 단위에 대하여 궁금합니다.

2004.06.25 13:02

관리자 조회 수:144485 추천:425


===============================<질문>=======================================

안녕하십니까??
궁금한게 있어여...
플라즈마 장비를 공부하다가 이상한 단위를 만나서요...
좀 알려 주세요.. sccm 이라는 건데요...
무슨 가스량을 나타내는 단위이긴 한거 같은데.. 정확한 내용을 몰라서요..
어떤 뜻인지..알고 계시면 좀 알려주세요.. 부탁 드립니다.. 좋은 하루 되세요...


==============================<답변>========================================

SCCM 은 flow rate를 의미합니다. 즉 torr-liter/sec (t-l/s)와 같이 쓰입니다.
sccm은 standard cc per minute로 (0C, 1atm 상태에서의 값입니다.)
1sccm= 6.02e23/22400cm^3 molecules / min 즉 분당에 2.7e19개의 분자입자들이 흘러들어가는 정도의 기체유량을 의미합니다.
참고로 1 t-l/sec와는 79.05sccm인 관계가 있으며 1 t-l/sec= 2.13e21 molecules/min의 관계입니다.

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20211
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92294
149 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
148 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 708
147 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 706
146 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 702
145 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 702
144 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 696
143 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 694
142 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 688
141 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 686
140 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 683
139 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679
138 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 669
137 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 666
136 Polymer Temp Etch [1] 664
135 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 657
134 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 640
133 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 636
132 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 634
131 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 625
130 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 618
쓰기
태그

Boards

XE Login