Chamber Impedance Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
2022.09.27 13:01
안녕하세요.
저는 RF Generator의 power amlifier를 연구하고 있는 학생입니다.
Load impedance를 50 ohm으로 설계를 했는데 matcher가 없을 때의 power amlifier의 성능을 확인하고자 합니다.
Chamber impedance의 범위가 어떻게 되는지 질문드립니다.
감사합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [218] | 75407 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19148 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56477 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67534 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89320 |
88 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준
[1] ![]() | 496 |
87 | Polymer Temp Etch [1] | 494 |
86 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 493 |
85 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1] ![]() | 490 |
84 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 488 |
83 |
진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문
[1] ![]() | 477 |
82 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 457 |
81 | Self bias 내용 질문입니다. [1] | 456 |
» | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 456 |
79 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 454 |
78 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 449 |
77 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 448 |
76 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 447 |
75 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 442 |
74 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 438 |
73 | 핵융합 질문 [1] | 436 |
72 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 430 |
71 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 429 |
70 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 427 |
69 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 427 |