안녕하세요.

저는 RF Generator의 power amlifier를 연구하고 있는 학생입니다.

 

Load impedance를 50 ohm으로 설계를 했는데 matcher가 없을 때의 power amlifier의 성능을 확인하고자 합니다.

Chamber impedance의 범위가 어떻게 되는지 질문드립니다.

감사합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [218] 75407
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19148
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56477
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67534
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89320
88 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 496
87 Polymer Temp Etch [1] 494
86 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 493
85 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 490
84 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 488
83 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 477
82 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 457
81 Self bias 내용 질문입니다. [1] 456
» Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 456
79 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 454
78 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 449
77 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 448
76 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 447
75 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 442
74 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 438
73 핵융합 질문 [1] 436
72 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 430
71 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 429
70 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 427
69 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 427

Boards


XE Login