Deposition PEALD장비에 관해서 질문드리고 싶습니다. [장비 세정 및 관리 규칙]
2023.04.11 16:35
안녕하세요 Plasma를 이용하여 ALD 실험을 진행하고 있는 대학원생입니다.
다름이 아니라 어느 순간부터 plasma를 발생시키게 되었을 때 처음 발생시킬 때에는 플라즈마 빛의 세기도 매우 강하고 잘 생성이 된다고 생각이 들었는데 그 이후로 발생시킬 때는 플라즈마의 색깔도 조금 변하고 세기가 많이 약해집니다.
NH3, N2 plasma를 최근 이용하였을 때 계속해서 그러한 현상이 일어나고 있습니다.
이러한 현상에 대해서 혹시 원인을 알고 계셔서 알려주신다면 정말 감사드립니다 ㅠㅠ
아님 개인적인 소견이라도 말씀해주시면 정말 큰 도움이 될 것 같습니다 ㅠㅠ
장비 세정을 해 보세요. 장비 관리 규칙도 마련해야 할 것 같습니다. 장비 사용한 선배들과 경험을 나눠보시면 좋을 것 같고요. 장비마다 특성이 있기 떄문입니다.