안녕하세요 인터넷에 아무리 찾아도 명확한 답을 찾을 수 없어서 가입 후 글을 남깁니다.

보통 RF 주파수라고 하면 13.56MHz 를 주로 쓰지만 공정에 따라 27.12MHz, 40.68Hz, 60MHz 도 사용하는걸로 알고 있습니다

그런데 왜 13.56MHz 의 2배수인 27.12MHz, 3배수인 40.68MHz 를 정하여 사용하는지 알고싶습니다

또 2배수, 3배수를 사용하지 않았을때의 현상도 추가적으로 궁금합니다.

기본적이고 원초적인 질문 일수 있지만 명확한 해답을 알고 싶어 글 남깁니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [250] 76379
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19968
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57055
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68517
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91226
70 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 443
69 plasma striation 관련 문의 [1] file 442
68 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 439
67 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 436
66 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 434
65 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 424
64 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 422
63 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 422
62 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 421
61 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 420
60 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 418
59 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 411
58 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 393
57 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 391
56 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 385
55 plasma modeling 관련 질문 [1] 373
54 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 372
53 PECVD Uniformity [1] 367
52 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 366
51 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 366

Boards


XE Login