안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102630
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24656
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73440
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105744
73 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 597
72 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 590
71 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 589
70 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 589
69 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 587
68 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 584
67 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 577
66 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 577
65 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 566
64 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 566
63 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 566
62 Wafer 영역별 E/R 차이에 대한 질문 [Gas flow system vs E/R] [1] 564
61 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 563
60 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 562
59 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 558
58 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 552
57 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 550
56 III-V 반도체 에칭 공정 문의 [1] 548
55 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 544
54 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 530

Boards


XE Login