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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58465
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560 [질문] Plasma density 측정 방법 [1] 22222
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558 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22197
557 Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22062
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553 Peak RF Voltage의 의미 21782
552 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] 21753
551 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 21656
550 펄스바이어스 스퍼터링 답변 21607
549 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 21587

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