Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Others
IEDF EQP에 대한 답변
2004.06.19 16:02
관리자
조회 수:20840
추천:386
첨부된 파일을 참조하시기 바랍니다.
MS word 파일입니다.
댓글
0
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[313]
79238
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
21259
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
58062
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
69620
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
94407
722
상압 플라즈마 관련 문의입니다. [열용량과 방전 전력에 따른 냉각 장치]
[1]
21585
721
Breakdown에 대해
21502
720
CCP에서 Area effect(면적)? [Self bias와 sheath capacitance]
21494
719
47th American Vacuum Society International Symposium 2000
21447
718
플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works]
[1]
21397
717
저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision]
[1]
21393
716
플라즈마 실험
21380
715
Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용
21352
714
ICP 플라즈마 매칭 문의 [Matching과 breakdown]
[2]
21300
713
전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield]
[1]
21197
712
플라즈마란? [제 4의 물질 상태]
21103
711
RF plasma에 대해서 질문드립니다. [Sheath model, Ion current density]
[2]
21074
710
대기압 플라즈마 진단 [탐침을 통한 대기압 진단의 문제점]
21051
709
UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating]
[1]
20969
708
plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch]
20894
»
IEDF EQP에 대한 답변
20840
706
이온주입량에 대한 문의
20791
705
교재구입
20758
704
플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy]
[1]
20697
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer