Plasma in general RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다
2018.12.30 00:05
안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.
최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데,
1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?
2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?
바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76739 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20211 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68703 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92294 |
649 | PM을 한번 하시죠 | 19729 |
648 | cross section 질문 [1] | 19713 |
647 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19712 |
646 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19687 |
645 | DC SPT 문의 | 19680 |
644 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19658 |
643 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19640 |
642 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19540 |
641 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19470 |
640 | self bias [1] | 19470 |
639 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19460 |
638 | QMA에 관하여 [1] | 19427 |
637 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19416 |
636 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19378 |
635 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19356 |
634 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19344 |
633 | MFC | 19333 |
632 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19320 |
631 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19213 |
630 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19192 |
도움이 되실지 모르겠는데, 본 게시판 (상단에 보시면 항목을 나누어 놓았는데, chamber component 에 들어가면 matcher 항목)에서 토의된 내용을 확인해 보시기 바랍니다. 설비 이슈가 있었다면 chamber impedance가 바뀌었을 확률이 클 것도 같습니다.