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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67548
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122 CVD 공정에서의 self bias [1] 2478
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120 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2322
119 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2286
118 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2220
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115 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2102
114 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1973
113 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 1934
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111 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1819
110 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1779
109 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1776
108 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1764
107 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1690
106 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1615
105 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1584
104 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1550
103 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1514
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