안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.

RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.

 

감사합니다.

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101 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 1625
100 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory] [1] 1618
99 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1561
98 wafer bias [Self bias] [1] 1530
97 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1510
96 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [PMI] [2] 1470
95 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1467
94 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [Chamber impedance] [2] 1462
93 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1410
92 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1407
91 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1406
90 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1405
89 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1396
88 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1368
87 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1341
86 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1331
85 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1326
84 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1313
83 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1292
82 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1284

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