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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 100363
141 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [LF와 Sheath] [1] 3057
140 플라즈마 압력에 대하여 [Glow discharge와 light] [1] 2898
139 질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포] [1] 2861
138 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [충돌 반응 및 전력 전달 모델] [1] 2789
137 LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리] [2] 2626
136 plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소] [1] 2584
135 플라즈마볼 제작시 [전기장 형성 및 플라즈마 방전] [1] file 2507
134 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [Lorentz force와 magnetic confinement] [1] 2506
133 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2461
132 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [Plasma information variable model] [1] 2455
131 플라즈마 관련 기초지식 [DC glow discharge] [1] 2439
130 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2438
129 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다. [Experiment와 KFE] [1] 2393
128 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2371
127 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치] [1] 2351
126 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2325
125 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [Ion energy와 heat, sheath energy] [2] 2270
124 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [Floating sheath] [1] 2257
123 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [Standing wave 운전 조건, 안테나 설계] [1] 2225
122 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [플라즈마 생성 분포와 sheath 전기장] [1] 2224

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