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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20001
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68544
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110 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1647
109 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1634
108 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1581
107 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1579
106 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1535
105 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1531
104 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1510
103 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1452
102 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1446
101 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1435
100 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1426
99 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1398
98 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1372
97 플라즈마 관련 교육 [1] 1367
96 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1325
95 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1299
94 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1292
93 플라즈마 기초입니다 [1] 1271
92 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1256
91 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1219

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