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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64500
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85 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1270
84 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1269
83 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1258
82 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1245
81 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1219
80 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1211
79 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1138
78 플라즈마 기초입니다 [1] 1126
77 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1066
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75 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1018
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73 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 994
72 Group Delay 문의드립니다. [1] 979
71 플라즈마 코팅 [1] 967
70 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 966
69 RF 전압과 압력의 영향? [1] 938
68 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 928
67 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 921
66 wafer bias [1] 875

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