Others VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.
2012.09.07 03:25
안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.
플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.
질문
1.VPP가 어떤건지?
2.VDC가 어떤건지?
3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?
위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.
참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.
정말 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 48774 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 52771 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] | 60578 |
205 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 43221 |
» | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 38858 |
203 | Self Bias | 29732 |
202 | 반도체 관련 질문입니다. | 28177 |
201 | 플라즈마 밀도 | 28150 |
200 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 27436 |
199 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 26588 |
198 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 26168 |
197 |
이온과 라디칼의 농도
![]() | 25773 |
196 | self bias (rf 전압 강하) | 24967 |
195 | 충돌단면적에 관하여 [2] | 24846 |
194 | 플라즈마 온도 | 24134 |
193 | plasma and sheath, 플라즈마 크기 | 23195 |
192 | DC glow discharge | 22236 |
191 | 플라즈마 쉬스 | 22143 |
190 | floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [1] | 22100 |
189 | self Bias voltage | 22012 |
188 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 21779 |
187 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 21579 |
186 | manetically enhanced plasmas | 21438 |