Ion/Electron Temperature 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb]

2021.08.12 16:29

박준우 조회 수:1293

안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103408
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24722
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61548
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73527
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105979
101 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 1627
100 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory] [1] 1619
99 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1562
98 wafer bias [Self bias] [1] 1532
97 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1512
96 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1482
95 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [PMI] [2] 1473
94 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [Chamber impedance] [2] 1469
93 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1416
92 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1412
91 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1411
90 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1410
89 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1406
88 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1374
87 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1343
86 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1343
85 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1337
84 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1314
» 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1293
82 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1289
쓰기
태그

Boards

XE Login