이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.

산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요

실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요

산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나

거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..

이유가 무엇일까요..?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77273
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20485
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57401
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68922
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92970
58 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 705
57 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 702
56 plasma 공정 중 색변화 [1] 696
55 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 694
54 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 641
53 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 641
52 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 606
51 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 606
50 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 603
49 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 599
48 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 577
47 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 557
46 self bias [1] 552
45 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 546
44 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 540
43 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 510
42 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 504
» 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 503
40 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 502
39 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 490

Boards


XE Login