Sheath 프리쉬스에 관한 질문입니다.

2019.03.07 20:36

JIVELY 조회 수:594

랑뮤어 프로브에 관한 논문을 읽다가 궁금하게 생겨 질문 드립니다. 

이온은 프리쉬스 영역에서 0.5(kTe/e)에 해당하는 전압강하를 통하여 bohm속도를 갖게되어 음극쪽으로 끌려가는 것으로 알고 있습니다.

논문에서는 음극에서 수집되는 전류밀도는 일정하므로 이온의 밀도는 감소하며 만약 이 이온의 밀도감소 속도가 전자의 밀도감소 속도보다 빠르게 될 경우 전자가 사라지기 전에 이온밀도가 감소하여 결국 순 전류가 음의 값을 가져 이온의 속도가 증가한다고 합니다. 따라서 이를 해결하려면 쉬스의 양의 공간 전하를 유지하기 위해 이온은 bohm속도에 해당하는 속도로 쉬스로 들어가야 한다고 나와있습니다. 

이 부분이 이해가 되질 않습니다.  프리 쉬스에 의해  bohm속도에 도달한 이온들은 쉬스영역으로 더 잘 끌려간다는 말 아닌가요? 이렇게 되면 이온밀도는 더 감소하게되는것 아닌지... 쉬스의 양의 공간전하 유지를 위해 이온밀도 감소 속도를 낮춰야 한다면서 한편으로는 쉬스영역으로 더 잘 끌려갈 수 있게 bohm 속도를 가져야 한다니... 뭔가 역설적인것 같습니다..

또 프리 쉬스가 생기는 이유에 대해서도 궁금합니다.

또 다른 한 논문에서는 "이온-중성종 간의 약한 충돌이 지배적으로 일어나는 전통적 의미의 프리쉬스 영역이 존재함을 의미" 라고 적혀있는것을 보았습니다.

이온-중성종간의 충돌이 프리쉬스의 형성과 어떤 관련이 있나요?? 아니면 그냥 프리쉬스영역에서 이온-중성종간의 충돌이 일어난다는 뜻인가요??

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
52 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 673
51 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 651
» 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 594
49 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 589
48 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 585
47 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 581
46 plasma 공정 중 색변화 [1] 572
45 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 567
44 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 556
43 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 552
42 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 543
41 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 526
40 self bias [1] 514
39 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 496
38 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 480
37 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 477
36 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 474
35 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 469
34 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 463
33 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 450

Boards


XE Login