안녕하세요. 플라즈마 장비를 다루면서 당연시 생각했던건데 이유를 생각해보면 

막상 안떠오를때가 있습니다. 그래서 몇가지 질문드리려고요.

1.같은 메이커 같은 모델의  장비를 쓸때에도 depo rate, etch rate가 제각기 다른데

이런이유를 어떻게 설명해야될까요..

2.하루종일 장비를 안쓰면 etch rate가 달라지는데 leak가 있어서 진공이 달라진것도

아닌데 왜 이런현상이 일어날까요? 이런 현상때문에 일부러 dummy wafer를 칠때가

있습니다.

3.chamber를 open한 직후와 많이 양산이 돌아간 상태에서 마찬가지로 rate가 달라지는데

이유가 있을까요?

4.chamber 벽 표면의 물질이 달라지면 플라즈마의 특성, 쉬스 이런것들이 달라지나요?

(Sputter 장비에서 shield의 부산물 포획특성을 위해 coating의 물질을 바꾸는 경우가 있어

문의드립니다)

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5816
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17245
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53093
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64492
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85106
25 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 453
24 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 431
» 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 423
22 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 396
21 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 392
20 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 388
19 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 383
18 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 370
17 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 354
16 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 351
15 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 345
14 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 329
13 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 327
12 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 324
11 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 315
10 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 311
9 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 304
8 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 258
7 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 247
6 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 234

Boards


XE Login