Plasma in general self bias

2023.03.13 16:58

브로 조회 수:552

self bias에 대한 개념을 교수님 말씀 읽고 숙지하였습니다 .감사합니다. 

그렇다면 교수님, self bias의 정의를 두 전극에 RF바이어스를 가했을 시,면적의 차이 등으로 인해 두 전극에 나타나는 전위차로 설명하는 것은 잘못된 설명인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77300
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20496
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57412
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68942
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92988
59 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 716
58 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 705
57 plasma 공정 중 색변화 [1] 698
56 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 694
55 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 648
54 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 643
53 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 608
52 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 606
51 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 604
50 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 600
49 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 585
48 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 557
» self bias [1] 552
46 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 551
45 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 542
44 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 510
43 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 504
42 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 504
41 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 503
40 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 491

Boards


XE Login