Plasma in general 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무
2023.01.16 16:15
Air나 N2를 활용한 로테이팅 젯 플라즈마로 Tool의 유기오염 제거를 평가 적용하고자 합니다.
해당 Tool은 오염 점착 방지를 위하여 실리콘 수지가 Amu(에이뮤코팅)되어 수um T.를 형성하고 있습니다.
실리콘 수지가 중합체일 것으로 추정되는데 Plasma가 해당 코팅에는 어떤 영향을 줄지 궁금합니다.
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상압 플라즈마에 대한 연구를 수행하는 기관으로 광운대학교의 최은하 교수님 연구 센터를 방문해 보시면 좋습니다. 또는 KFR 의 플라즈마 기술연구소의 김상봉 박사님 연구팀에 문의드려 보시면 좋을 것 같습니다.