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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath]
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RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트]
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공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate]
[1] | 350 |
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플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포]
[1] | 256 |
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구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마]
[1] | 255 |
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Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant]
[1] | 252 |
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플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해]
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ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation]
[1] | 203 |
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진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy]
[1] | 201 |
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실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma]
[1] | 200 |
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챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식]
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RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power]
[1] | 199 |
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플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가]
[1] | 198 |
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corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마]
[1] | 194 |
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Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터]
[1] | 192 |
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DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스]
[1] | 180 |
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PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다.
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RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral]
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Druyvesteyn Distribution
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C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책
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