Others Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
2020.09.08 09:59
안녕하세요. 장비회사에서 근무하는 양철훈 이라고 합니다.
궁금한 점이 있어 문의 드립니다.
- DC sputter에서 스퍼터링 건에서 전원부 말고 Sheild나 housing는 전기적으로 ground가 좋은가요 floating 시키는 것이 좋은지요. DC에서는 상관없을 수도 있다는 생각이 들기도 합니다.
- 동일 질문을 RF sputter의 경우에 하면 어떤 것이 더 좋은지요. RF에서는 charging 문제로 ground가 되어야만 할 것같다는 생각이 들기도 합니다.
어떤 것이 더 좋은지와 이 이유 답변 부탁드립니다.
감사합니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76732 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20202 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
253 | 플라즈마 쉬스 | 23934 |
252 | 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. | 23441 |
251 | DC glow discharge | 23246 |
250 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 23125 |
249 | floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] | 22852 |
248 | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 22122 |
247 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 21997 |
246 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21895 |
245 | manetically enhanced plasmas | 21657 |
244 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21385 |
243 | Breakdown에 대해 | 21366 |
242 | 플라즈마 실험 | 21344 |
241 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21330 |
240 | 플라즈마란? | 21057 |
239 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20963 |
238 | 이온주입량에 대한 문의 | 20731 |
237 | 교재구입 | 20725 |
236 | Three body collision process | 20649 |
235 | 확산펌프 | 20516 |
234 | 형광등과 플라즈마 | 20247 |
특별한 이유가 없는 한, 장비는 ground를 잘 확보하시는 것이 좋습니다. floating 조건이면 기준값이 통일되지 않아, 장비 운용에 문제를 야기할 확률이 매우 높아 집니다. 따라서 공정 재현성도 나뻐집니다. 접지 연결에는 각별한 주의를 기울이시는 것이 좋습니다. .