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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61640
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97 플라즈마볼 제작시 [1] file 1797
96 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1767
95 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1653
94 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1473
93 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1459
92 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1377
91 질문있습니다. [1] 1365
90 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1272
89 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1272
88 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1268
87 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1252
86 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1200
85 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1199
84 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 1181
83 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1177
82 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1143
81 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1137
80 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1131
79 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1077
78 플라즈마 기초입니다 [1] 1040

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