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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59724
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94 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 1394
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92 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1311
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90 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1230
89 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1202
88 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1171
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83 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1096
82 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1090
81 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1080
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77 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 900
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