Remote Plasma In-flight plasma process

2004.06.21 15:07

관리자 조회 수:15512 추천:245

Plasma 분야에서 In-flight plassma process라는 용어가 특별히 정의되어서 사용되고 있는지도 잘 모르겠습니다. 질문하신분은 수업중에 이 용어에 대해 듣게 되었다고 하였는데 어떤 수업에서 언급된 내용인지요?

(이 내용에 대해선 신뢰성이 없습니다. 단지 참고해 보십시요) 일반적으로 확산되는 플라즈마 즉 플라즈마의 발생영역이 제한되어 있으며 플라즈마를 이용해서 처리하고자 하는 플라즈마 반응영역이 분리되어 있는 경우, 많은 예가 있습니다만, 일반적으로 이러한 장치를 remote plasma 반응기라 정의되는 장비의 경우, 또는 ECR 식각 플라즈마등과 같은 플라즈마등과 같은 플라즈마 반응장치에서는 발생영역에서 발생된 플라즈마는 반응역역으로 확산되어 들어가게 되는데 이 때 플라즈마의 확산 경로상에서 프라즈마는 주변의 중성입자들과 반응을 하여 중성입자를 이온화, 해리등의 반응과정을 겪게 됩니다. 이런 경우에 플라즈마가 날아가는 동안 반응한다고 표현하곤 합니다. 혹은 토치 플라즈마를 사용해서 모제의 표면에 세라빅 막등ㅇ르 도포하는 경우에서 토치팁 내부에서 발새한 플라즈마는 팁에서 방출되면서 분사되는 미세크기의 세라빅 파우더와 반응하여 고온 고속의 파우더가 토치로부터 모제의 표면으로 방사됩니다. 이러한 경우도 방출되어 날아가는 플라즈마와 파우더가 반응한다고 표현하기도 합니다. 이들 설명들은 두서없는것으로 용어의 정의에 대한 설명ㅇ로는 부족하고 단지 상황설명에 지나지 않음을 이해하시기 바랍니다.

따라서 질문하신 용어에 대해서는 저희도 궁금하니 이 용어에 대해 알게 되시면 설명을 이곳에 계시해 주시면 감사하겠습니다. 아울러 IEEE ICOPS 98 초록집은 저희가 갖고 있으나 97년도 것은 없습니다. 아마도 이 책은 한양대학 원자력 공학과의 정규선 교수님(02-290-0465)이 갖고 계실지 모르겠습니다. 또한 그분에게도 이 용어에 대해 여쭤보시기 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77194
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20458
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57357
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68897
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92941
124 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16055
123 ICP TORCH의 냉각방법 15923
» In-flight plasma process 15512
121 remote plasma 데미지 질문 [1] 14503
120 냉각수에 의한 Power Leak 14452
119 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11651
118 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10399
117 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9846
116 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9685
115 대기압 플라즈마에 대해서 9648
114 수중플라즈마에 대해 [1] 8773
113 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8635
112 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8587
111 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8157
110 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7678
109 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6711
108 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6412
107 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6374
106 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 6097
105 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 5294

Boards


XE Login