CCP 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련
2020.01.02 18:46
안녕하십니까?
이전에 에쳐장비 관련 장비메이져 회사에서 근무한 경험이 있습니다.
그당시, 에쳐장비에서 HF/LF가 RF가 인가가 되는데,
그라운드 링이라는 하드웨어가 상부전극 주위 즉 Deposhield윗 공간에 존재를 하였습니다.
에쳐장비에서 RF관련 그라운드를 어떻게 잡는지가 궁금합니다.
(그라운드를 잡지않으면, 아킹이나 노이즈 등의 위험이 있다고 생각합니다.)
확인 및 답변 부탁드립니다.
새해 복 많이 받으시고, 행복한 한해 되십시오.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76732 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20204 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
| 119 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16036 |
| 118 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15919 |
| 117 | In-flight plasma process | 15504 |
| 116 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14461 |
| 115 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
| 114 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11328 |
| 113 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10355 |
| 112 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9843 |
| 111 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9666 |
| 110 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9636 |
| 109 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
| 108 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8618 |
| 107 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8573 |
| 106 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
| 105 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7649 |
| 104 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6648 |
| 103 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6410 |
| 102 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6365 |
| 101 |
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1] | 5999 |
| 100 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1] | 4940 |
상기관련, 에쳐장비에서 HF/LF의 기본적으로 접지를 잡는방법이 궁금합니다.
또한 그라운드관련 그라운드 기능을 하는 하드웨어파트가 없어도, 큰 무리는 없는지 궁금합니다.
확인 부탁드립니다.
감사합니다.