ICP 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
2020.08.21 15:03
저는 광학박막 분야에서 sputter 장비를 이용하여 간섭필터를 코팅하고 있습니다.
sputter에 ICP를 같이 사용하여 기판에 증착된 Si와 반응가스를 결합시키는 용도로 사용하고 있습니다.
ICP코일 앞에 위치한 Quartz 표면에서 식각된 것 같은 모양새를 보여 원인분석에 있습니다.
질문1. ICP 쪽에 Self bias로 인해 Quartz가 식각되는 현상이 발생될 수 있는지 궁금합니다
질문2. Ar과 함께 들어가는 반응가스로 O2를 사용했을 때와 H2를 사용했을 때 ICP 쪽과 기판 쪽에서 어떤 현상들이 생기는지 궁금합니다
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
119 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16036 |
118 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15919 |
117 | In-flight plasma process | 15504 |
116 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14461 |
115 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
114 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11329 |
113 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10355 |
112 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9843 |
111 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9666 |
110 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9636 |
109 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
108 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8618 |
107 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8573 |
106 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
105 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7649 |
104 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6648 |
103 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6410 |
102 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6365 |
101 | 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] | 6000 |
100 | CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] | 4940 |
답변 1 : 발생합니다. 따라서 쿼츠 면 식각이 안테나 형태를 따라서 보다 심화되곤 합니다.
답변 2: 가스 종에 따른 플라즈마변화는 대부분 전력으로 보상하는 경향이 있습니다. 아울러 분자 종 플라즈마에서는 이온화 에너지, 해리-이온화 에너지 데이터를 찾아 보시면, 두 가스의 플라즈마 생성에 어떤 차이, 즉 필요 전력등을 이해할 수 있을 것입니다. 충돌 단면적 혹은 방응계수(rate constant) 데이터를 확보하시기를 추천드립니다.