ICP 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.

2020.09.08 18:07

공대생입니당 조회 수:2316

교수님 안녕하세요, 플라즈마 관련 공부를 하고 있는 취업준비생입니다.

ICP 장비를 공부하다가 궁금한점이 생겨서 질문 올립니다.

1. ICP장비는 소스파워로 이온 밀도를 조절하고, 바이어스 파어로 이온 에너지를 조절한다고 하는데, 소스파워는 이해가 가는데

바이어스 파워로 이온 에너지를 조절한다는 메커니즘이 이해가 안갑니다. 블로킹 커패시터를 달아서 한다고 하는데, 이해가 안가네요..


2. capacitive coupling이라는 현상으로 인해 벽이 스퍼터 되는 문제점이 발생한다고 하는데, 이 벽이 스퍼터 된다는게

플라즈마가 균일하지 않게 된다는 말일까요?


3. 이 질문은 PE CVD 관련 질문인데요, PECVD를 진행할 때 전극 면적비를 같게 하는 이유가 라디칼을 이용한 증착 방법이기 때문에

   이온의 영향을 줄이기 위함이다. 이렇게 생각했는데, 제 생각의 논리가 맞을지 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [270] 76746
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20216
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57169
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68706
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92304
119 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16036
118 ICP TORCH의 냉각방법 15920
117 In-flight plasma process 15504
116 remote plasma 데미지 질문 [1] 14461
115 냉각수에 의한 Power Leak 14447
114 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11336
113 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10355
112 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9843
111 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9666
110 대기압 플라즈마에 대해서 9637
109 수중플라즈마에 대해 [1] 8739
108 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8619
107 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8573
106 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8133
105 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7652
104 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6648
103 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
102 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6365
101 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 6003
100 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 4949
쓰기
태그

Boards

XE Login