|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[338]
| 225698 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 65249 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 102264 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 114359 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 193361 |
|
114 |
챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [Arc 형성 조건]
[3] | 8115 |
|
113 |
RPSC 관련 질문입니다. [플라즈마 발생과 쉬스 형성, 벽면 및 시료 demage]
[2] | 7383 |
|
112 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [Plasma source와 loss]
[3] | 6605 |
|
111 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [Breakdown 전기장, 아크 방전]
[3] | 6490 |
|
110 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning]
[1] | 6156 |
|
109 |
고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질]
[1] | 5905 |
|
108 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [소수/친수성 조절 연구]
[1] | 5809 |
|
107 |
수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [MFC와 H2 gas retention]
[3] | 5580 |
|
106 |
ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해]
[1] | 5448 |
|
105 |
ECR 플라즈마에 대해서 질문드립니다. [ECR과 uniformity]
[1] | 5226 |
|
104 |
RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect]
[1] | 5169 |
|
103 |
Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization]
[1] | 5094 |
|
102 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [Paschen's Law, P-d 방전 곡선]
[1] | 5063 |
|
101 |
전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [Plasma density와 Balance equation]
[1] | 4960 |
|
100 |
플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성]
[1] | 4923 |
|
99 |
RPS를 이용한 SIO2 에칭 [Etch와 remote plasma]
[1] | 4904 |
|
98 |
RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [라디컬 측정 방법 및 세정 기술]
[2] | 4833 |
|
97 |
교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [Self bias 및 ICP E/H mode]
[2] | 4831 |
|
96 |
안녕하세요. 교수님 ICP 관련하여 문의드립니다. [충돌 단면적 및 반응 계수]
[2] | 4788 |
|
95 |
Remote Plasma가 가능한 이온 [Remote plasma와 diffusion]
[1] | 4713 |
