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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
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94 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 4340
93 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3951
92 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3591
91 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3486
90 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3365
89 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3310
88 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2667
87 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2620
86 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2603
85 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2443
84 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2336
83 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2277
82 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2254
81 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2242
80 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2227
79 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2157
78 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1929
77 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1903
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