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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [Arc 형성 조건]
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RPSC 관련 질문입니다. [플라즈마 발생과 쉬스 형성, 벽면 및 시료 demage]
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CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [Plasma source와 loss]
[3] | 4460 |
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고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질]
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CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [Breakdown 전기장, 아크 방전]
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RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning]
[1] | 4015 |
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PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [소수/친수성 조절 연구]
[1] | 3568 |
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수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [MFC와 H2 gas retention]
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Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization]
[1] | 3032 |
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ECR 플라즈마에 대해서 질문드립니다. [ECR과 uniformity]
[1] | 3000 |
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플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성]
[1] | 2920 |
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RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect]
[1] | 2900 |
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RPS를 이용한 SIO2 에칭 [Etch와 remote plasma]
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CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [Paschen's Law, P-d 방전 곡선]
[1] | 2778 |
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안녕하세요. 교수님 ICP 관련하여 문의드립니다. [충돌 단면적 및 반응 계수]
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교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [Self bias 및 ICP E/H mode]
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RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [라디컬 측정 방법 및 세정 기술]
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Remote Plasma가 가능한 이온 [Remote plasma와 diffusion]
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안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마]
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RF generator 관련 문의드립니다 [Matcher와 line damage]
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