번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5815
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17218
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53083
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64491
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85106
59 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1371
58 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1369
57 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1307
56 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1300
55 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1269
54 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1238
53 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1228
52 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1206
51 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1194
50 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1175
49 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1092
48 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1012
47 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1004
46 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 976
45 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 923
44 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 897
43 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 880
42 공정플라즈마 [1] 858
41 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 844
40 plasma 형성 관계 [1] 834
쓰기
태그

Boards

XE Login