ICP ICP TORCH의 냉각방법
2004.06.21 15:30
질문 ::
ICP TORCH에 관하여 문의를 드립니다.
ICP TORCH를 이용 유리와 같은 물질을 가열하는 장치를 연구하고 있는데 TORCH의 구조는 COIL과 QUARTZ관으로 구성되며 QUARTZ관은 내경50mm정도입니다. GAS는 Ar을 사용하고 있는데 문제는 발생된PLASMA가 COIL내에서 발생되므로 QUARTZ관까지 녹는 현상이 발생됩니다. 코일은 3 -4 TURN으로 하였는데 코일밖에서 PLASMA를 발생시킬 수 는 없는지요? 아니면 QUARTZ관이 가열되지 않는 방법이 있는지 알고 싶습니다.
답변 ::
말씀하신 장치에 대해서는 직접 보지 않아 개념적인 답변을 드릴 수 밖에 없을 것 같습니다.
1 . 일단 안테나 coil을 냉각수로 냉각하도록 하십시오.
2. 입력 개스의 흐름을 유리관 벽에서 와류가 생겨 유리관으로 전달되는 열을 가급적 차단하도록
개스흐름을 조절하십시오.
일반적으로 이상의 방법을 사용하고 있습니다.
도움이 되었기를 바랍니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [270] | 76746 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20216 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68706 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92304 |
| 79 | 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] | 1900 |
| 78 | 가입인사드립니다. [1] | 1880 |
| 77 | N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] | 1812 |
| 76 | ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] | 1741 |
| 75 | 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] | 1671 |
| 74 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 1661 |
| 73 | CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] | 1609 |
| 72 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1603 |
| 71 | plasma 형성 관계 [1] | 1518 |
| 70 | 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] | 1488 |
| 69 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1454 |
| 68 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1445 |
| 67 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1439 |
| 66 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1]  | 1402 |
| 65 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1395 |
| 64 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1356 |
| 63 | DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] | 1330 |
| 62 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1325 |
| 61 | Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] | 1298 |
| 60 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1273 |