Others micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
2016.02.29 16:49
안녕하세요. 일반 회시에 다니는 회사원입니다.
다름이 아니고 마이크로웨이브파를 이용 플라즈마 발생장치에 관심이 있어 질문 드립니다.
만약 마그네트론 + 리액터 + 웨이브가이드 3개로 구성된 장치가 있는데 만약 여기에 사용되는 전력이 플라즈마를 발생시키기 위해서 마그네트론
과 리액터내 플라즈마를 발생시키기 위한 전력만 소모되는지요? 마그네트론은 1kw짜리 이고 리액터에 사용되는 플라즈마 발생장치는 저온 플라즈마(500~600도) 입니다.
개발업체에서는 플라즈마를 발생시키기 위해서 사용전력이 많이 들어간다고 하는데 얼마정도 인지 확인이 안되고 있습니다.
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일단 플라즈마 장치를 개발하는 회사는 전원의 전력 대비 플라즈마가 만들어지면서 소모되는 전력을 계산하고 있을 것 입니다. 실험실에서는 플라즈마 생성에 필요로 하는 전력을 플라즈마 특성을 진단함으로써 유추하곤 합니다. 혹은 인가 전력이 플라즈마를 만들때 변하는 전력의 특성, 인가 전압/전위/위상차로 부터, 혹은 power meter를 이용해서 유추하곤 합니다. 하지만 모델은 플라즈마 유무에서 외부 전력의 변화가 모두 플라즈마 생성에 들어갔다는 가정에서 시작됩니다. 실제 장치 주변의 온도가 증가하는데 많은 에너지를 소모하곤 하기 때문에 장치를 잘 제작해야 하는 이유이기도 합니다. 즉, 장치는 전력 변환 효율이 좋은 장치가 되어야 하겠고, 이는 개발 장치의 성능에 해당하게 됩니다. 참고로 비교적 고주파 (마이트로 파) 플라즈마의 전력 변환 효율은 매우 좋습니다만, 이는 주파수가 높음으로 인한 생성 효율이 좋은 플라즈마 물성에 기인하는 이유이니, 장치 및 구조가 가져야 하는 최적 조건이 되어야 보다 높은 변환 효율을 가지는 장치가 되고 이를 위해서 wave gauide 설계 및 matcher 설계 등의 기술이 투자될 것 입니다. 아마도 개발업체에서는 이에 대한 know-how가 많이 있을 것으로 기대합니다. 아울러 장치는 변환 효율과 함께 운전 window 즉, 안정적 운전 범위에 대한 정보도 실무에서는 더욱 중요한 요소가 될 것입니다. 참고가 되셨으면 합니다.