안녕하세요.

s전자에 근무하는 송용재라고 합니다.

Film depo공정을 담당하고 있습니다.

한가지 의문의 들고 여기저기 찾아봐도 속시원한부분이 해결되지 않아 글을 남깁니다..

RF chamber (ICP type) Belljar에서의 arcing은 왜 발생하는것일까요?

arcing과 RF2 Reflect power(plasma power)와의 연관성은 어떻게 되나요?

발생 메커니즘과 RF2 Reflect power 상관관계에 대해 궁금합니다.

답변 기다리겠습니다.

감사합니다. 수고하세요.~

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1605
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2549
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49537
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59746
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75861
44 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 981
43 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 973
42 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 965
» ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 930
40 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 924
39 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 877
38 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 822
37 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 792
36 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 773
35 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 712
34 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 705
33 공정플라즈마 [1] 668
32 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 666
31 Plasma Generator 관련해서요. [1] 658
30 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 648
29 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 615
28 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 594
27 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 594
26 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 578
25 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 574

Boards


XE Login