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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49508
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59711
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75513
24 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 531
23 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 512
22 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 492
21 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 475
20 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 438
19 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 420
18 플라즈마 챔버 [2] 409
17 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 402
16 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 392
15 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 376
14 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 362
13 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 341
12 핵융합 질문 [1] 331
11 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 326
10 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 315
9 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 291
8 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 281
7 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 251
6 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 246
5 anode sheath 질문드립니다. [1] 242

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