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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65730
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41 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 887
40 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 873
39 플라즈마 챔버 [2] 846
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35 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 796
34 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 791
33 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 768
32 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 757
31 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 709
30 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 708
29 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 673
28 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 626
27 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 623
26 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 616
25 anode sheath 질문드립니다. [1] 614
24 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 609
23 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 604
22 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 595
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