ICP 공정플라즈마

2019.10.27 18:33

sungsustation 조회 수:1157

교수님 안녕하세요. 플라즈마 공부하고 있는 학부생인데 기초가 많이 부족해서 질문드립니다.


1. 공정플라즈마에서 전자 온도가 이온, 중성기체의 온도 보다 매우 높은 이유는 무엇인지 궁금합니다.


2. 플라즈마에 유체방정식이 무엇이고 각 항의 의미가 어떻게 되는 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76875
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20274
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92698
62 플라즈마 챔버 [2] 1258
61 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1226
60 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1216
59 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1207
58 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1199
57 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1186
56 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1172
» 공정플라즈마 [1] 1157
54 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1096
53 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1074
52 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1050
51 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1018
50 anode sheath 질문드립니다. [1] 1000
49 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 991
48 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 979
47 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 929
46 Plasma Generator 관련해서요. [1] 913
45 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 874
44 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 846
43 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 843

Boards


XE Login