안녕하세요, 한국기술교육대학교에서 석사과정중인 최인규입니다.


현재, Plasma 상태에서의 분자와 기판의 반응을 시뮬레이션을 통해서 모사해 보려고 하고 있습니다.


다만 현재 N 플라즈마 상태에서, N이 어떠한 형태로 존재하는지 알지 못하고 있습니다. 


H 플라즈마의 경우에는 I. Mendezet al , J. Phys. Chem . Rev . A 110 2006 ) 6060 6 논문을 참고하여, 


H 원자 형태로 가장 많이 존재하며 그 이후로 H3+, H+, H2+ 순으로 구성되어있다고 하는데,


N 플라즈마의 경우 대부분이 N+ / N2+ 의 비율로만 보여주고 있어 어려움이 있습니다.


혹 N이 이온이 아닌 원자 형태로 존재하는지, 존재를 한다면 N+, N2+ 대비 얼마나 존재 할지 궁금하여 질문드립니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5616
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16914
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51352
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64226
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84309
24 플라즈마 온도 26729
23 고온플라즈마와 저온플라즈마 22706
22 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 21794
21 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21581
20 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] 20033
19 플라즈마 진동수와 전자온도 19573
18 등온플라즈마와 비등온플라즈마 18686
17 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? 18308
16 저온 플라즈마에 관한 질문 18099
15 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 17724
14 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17550
13 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17187
12 고온플라즈마와 저온플라즈마 16972
11 산업용 플라즈마의 특성 14978
10 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7913
9 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5694
8 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3066
7 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2549
6 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2152
5 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1485

Boards


XE Login