Others VPP,VDC 어떤 FACTOR인지 알고 싶습니다. [Vpp, Vdc와 플라즈마 발생 원리]
2012.09.07 03:25
안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.
플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.
질문
1.VPP가 어떤건지?
2.VDC가 어떤건지?
3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?
위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.
참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.
정말 감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] | 112927 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 28454 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 65720 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 77531 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 112041 |
| 101 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. [Flow rate] | 149339 |
| » | VPP,VDC 어떤 FACTOR인지 알고 싶습니다. [Vpp, Vdc와 플라즈마 발생 원리] [1] | 56323 |
| 99 | RF frequency와 RF power 구분 | 39762 |
| 98 | 플라즈마 밀도 [Langmuir 탐침과 플라즈마의 밀도] | 30692 |
| 97 | 플라즈마의 정의 | 29808 |
| 96 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29556 |
| 95 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 29313 |
| 94 | 반도체 관련 질문입니다. | 28750 |
| 93 | 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. [플라즈마 도서 추천] | 28635 |
| 92 | manetically enhanced plasmas | 21864 |
| 91 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] | 21722 |
| 90 | 플라즈마 실험 | 21512 |
| 89 | 플라즈마란? [제 4의 물질 상태] | 21268 |
| 88 | 교재구입 | 20942 |
| 87 | 형광등과 플라즈마 | 20469 |
| 86 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20242 |
| 85 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19984 |
| 84 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19881 |
| 83 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19516 |