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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF power에 대한 설명 요청드립니다. [Child-Langmuir sheath 및 Debye length]
[1] | 7107 |
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진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [Chemisorption과 pruege gas]
[1] | 6569 |
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RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [플라즈마 유전상수]
[1] | 6291 |
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Bias 관련 질문 드립니다. [Ion plasma frequency]
[1] | 6177 |
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ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘]
[2] | 5974 |
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Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색]
[1] | 5900 |
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질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포]
[1] | 4325 |
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플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료]
[1] | 4060 |
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RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection]
[1] | 4051 |
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플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응]
[1] | 3694 |
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잔류시간 Residence Time에 대해 [표면 유속 정보, 유체해석 코드]
[1] | 3668 |
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Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant]
[1] | 3609 |
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플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation]
[1] | 3501 |
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DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스]
[1] | 3422 |
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Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground]
[2] | 3393 |
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챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식]
[1] | 3280 |
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Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath]
[1] | 3229 |
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O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning]
[1] | 3228 |
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플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응]
[1] | 3172 |
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O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model]
[1] | 3143 |