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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 112608
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42 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [Child-Langmuir sheath 및 Debye length] [1] 7107
41 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [Chemisorption과 pruege gas] [1] 6569
40 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [플라즈마 유전상수] [1] 6291
39 Bias 관련 질문 드립니다. [Ion plasma frequency] [1] 6177
38 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘] [2] 5974
37 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색] [1] 5900
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35 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 4060
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33 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 3694
32 잔류시간 Residence Time에 대해 [표면 유속 정보, 유체해석 코드] [1] 3668
31 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 3609
30 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 3501
29 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 3422
28 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 3393
27 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 3280
26 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 3229
25 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 3228
24 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 3172
23 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model] [1] 3143

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