안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
21 문의 드립니다. [1] 858
20 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 818
19 플라즈마 충격파 질문 [1] 784
18 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 725
17 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 708
16 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 698
15 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 495
14 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 474
13 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 469
12 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 450
11 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 429
10 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 426
9 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 389
8 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 373
7 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 340
6 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 303
5 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 297
4 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 129
3 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 118
2 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 100

Boards


XE Login