번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73070
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17637
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65716
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86076
26 ICP 플라즈마에 관해서 [2] 31119
25 플라즈마가 불안정한대요.. 24368
24 No. of antenna coil turns for ICP 22848
23 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22792
22 플라즈마의 발생과 ICP 21778
21 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21482
20 F/S (Faraday Shield) file 21050
19 ccp-icp 20891
18 ICP TORCH의 냉각방법 15823
17 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2664
16 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2168
15 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1867
14 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1682
13 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1501
12 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1475
11 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1442
10 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1379
9 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1334
8 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1246
7 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 997

Boards


XE Login