Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Others
IEDF EQP에 대한 답변
2004.06.19 16:02
관리자
조회 수:21012
추천:386
첨부된 파일을 참조하시기 바랍니다.
MS word 파일입니다.
댓글
0
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[337]
111819
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
27998
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
65271
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
77086
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
111387
45
OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보]
[1]
28911
44
탐침법
28442
43
[질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering]
[1]
23078
42
pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in]
[1]
23016
41
플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works]
[1]
21668
40
대기압 플라즈마 진단 [탐침을 통한 대기압 진단의 문제점]
21175
39
플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy]
[1]
21162
»
IEDF EQP에 대한 답변
21012
37
Langmuir probe tip 재료
20669
36
안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe]
[1]
20616
35
Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. [RF ground와 Cl Plasma]
19918
34
QMA에 관하여
[1]
19808
33
AMS진단에 대하여 궁금합니다
19186
32
플라즈마진단법엔 어떤것이? [접촉/비접촉식 진단법]
18903
31
RF compensate probe
18656
30
PSM을 이용한 Radical 측정 방법 [이온화 전자 전류의 증가]
17328
29
공정검사를 위한 CCD 카메라 사용
16299
28
laser induced plasma의 측정에 관하여 [Ablation plasma와 resolution]
14900
27
RGA에 대해서
10839
26
자료 요청드립니다.
[1]
6648
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer