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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86027
22 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3088
21 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2472
20 Wafer particle 성분 분석 [1] 2050
19 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1665
18 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1507
17 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1303
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15 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1195
14 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1181
13 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1097
12 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1067
11 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1003
10 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 919
9 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 884
8 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 857
7 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 841
6 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 493
5 활성이온 측정 방법 [1] 484
4 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 364
3 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 312

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