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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20044
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91540
23 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3300
22 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2841
21 Wafer particle 성분 분석 [1] 2291
20 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1945
19 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1825
18 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1603
17 charge effect에 대해 [2] 1452
16 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1445
15 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1357
14 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1331
13 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1316
12 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1312
11 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1288
10 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1056
9 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1005
8 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1000
7 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 720
6 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 699
5 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 693
4 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 586

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