Monitoring Method Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정]

2019.03.26 06:46

키보드매니아 조회 수:2623

 

안녕하세요.

반도체업계 종사자인 이우림이라고 합니다

 

다름이 아니라 300mm wafer위에 파티클 오염 분석을 진행중인데요.

혹시 300mm wafer를 coupon이 아닌 full wafer 상태로 삽입하여 wafer위의 파티클 성분 분석이 가능한 장비를 보유한 연구소를 알고 계신지요?

향후 분석에 꼭 필요한데 해당 장비 보유한 연구소를 찾지 못하는 상황입니다.

혹은 장비 관련 정보라도 알려주시면 감사하겠습니다.

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