번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2553
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13502
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49688
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61622
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80215
102 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 45959
101 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 40056
100 Ground에 대하여 36161
99 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 34362
98 matching box에 관한 질문 [1] 29073
97 esc란? 27427
96 Arcing [1] 26914
95 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 26910
94 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 26465
93 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 25738
92 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25319
91 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 24973
90 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24456
89 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24263
88 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24236
87 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 23840
86 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23005
85 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22636
84 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22308
83 Peak RF Voltage의 의미 22046

Boards


XE Login