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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[332]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열]
[2] | 648 |
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Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator]
[2]  | 648 |
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HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [국부 방전과 chucking]
[1] | 642 |
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인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath]
[1] | 605 |
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8 |
chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성]
[1] | 545 |
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7 |
HF와 LF중 LF REFLECT POWER가 커지는 현상에 대해서 도움이 필요합니다.
[2] | 466 |
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6 |
RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화
[2] | 411 |
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내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링]
[1] | 349 |
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4 |
플라즈마 설비에 대한 질문
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3 |
PEALD 챔버 세정법
[1] | 292 |
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스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해]
[1] | 265 |
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1 |
스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다
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