ESC esc란?

2004.06.25 12:42

관리자 조회 수:27755 추천:302

질문 ::
ELECTROSTATIC CHUCK에 대해 알고 싶은데,자료를 보내주시면 감사하겠읍니다

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [158] 72988
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17579
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55511
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85997
110 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 46878
109 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 40566
108 Ground에 대하여 38256
107 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) 34980
106 matching box에 관한 질문 [1] 29357
» esc란? 27755
104 Arcing [1] 27688
103 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27202
102 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 26918
101 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26094
100 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25449
99 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 25441
98 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24594
97 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24524
96 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24508
95 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24130
94 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23141
93 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22769
92 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22446
91 Peak RF Voltage의 의미 22276
쓰기
태그

Boards

XE Login