Others MFC [Direct liquid injection]

2004.06.19 17:14

관리자 조회 수:19419 추천:314

이은석 wrote :
안녕하십니까? 저는 이제 막 플라즈마에 대해 공부하기 시작한 코팅업체의 초보연구원입니다. 제가 이렇게 방명록을 방문한 이유는 저온 플라즈마 반응에서 유기중합막을 이루는 단량체를 반응기내로 주입시켜주는 장치에 대하여 자세히 알고 싶어서 입니다. 주로 반응성 또는 비활성 가스를 MFC로 조절하여 주입하게 되는 것으로 알고 있는데 저희는 액상의 모노머도 사용할 수 있도록 장치를 꾸미려 하고 있습니다. 가능하면 견학도 해보고 싶고, 참고할만한 자료가 있는 곳을 좀 알려주시면 감사하겠습니다. 또한 초음파나 heating을 이용한 방법은 불가능한지요?

군산대학교 공과대학 재료공학과 주정훈 교수
저는 CVD가 전공은 아니지만, MFC 전문업체인 MKS(http://www.mksinst.com)의 홈페이지에 가면 direct liquid injection (DLI-25C)에 대한 자세한 안내가 나와있읍니다. 도움이 되시리라 생각됩니다. micropump, heated vaporiser, control electronics로 구성된 sub-system이라고 되어 있읍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103378
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24719
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61543
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73525
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105967
113 Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown] [2] 22548
112 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 21548
111 ICP 플라즈마 매칭 문의 [Matching과 breakdown] [2] 21504
110 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [플라즈마 확산 및 전력정합 영역 제어] [1] file 20642
109 플라즈마 matching [Heating mechanism, matching] 20526
108 석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어] [1] 20468
107 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [Plasma 대면재료와 공정법] [1] 20045
106 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [RF matching 및 반응 단면적] [2] 19478
105 CCP/ICP에서 자석의 역할에 대하여 [ICP와 자기장의 역할] 19475
» MFC [Direct liquid injection] 19419
103 최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free] 18642
102 Faraday shielding & Screening effect [Fluctuation과 grid bias] 18489
101 electrode gap 18154
100 Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링] 17509
99 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17244
98 Virtual Matching [Impedance matching] 16996
97 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 15811
96 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 15735
95 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. [플라즈마 영향 인자] 13313
94 반응기의 면적에 대한 질문 [전극의 면적에 따른 전압 강하] 12919

Boards


XE Login